Mit dem neuen Massenspektrometer HiQuad Neo vereint Pfeiffer Vacuum starke Leistung, Flexibilität und einfache Bedienung.
Das Massenspektrometer erreicht eine besonders hohe Messgeschwindigkeit von bis zu 125 μs/u. Es zeichnet sich durch eine sehr gute Empfindlichkeit und einen großen dynamischen Bereich aus. Je nach Anwendung können Benutzer unterschiedliche Massenbereiche, Stabdurchmesser, Ionenquellen, Detektoren, Schnittstellen und Kabellängen auswählen. Mit diesen Eigenschaften ist das HiQuad Neo besonders für Anwendungen in Forschung und Entwicklung, Integration in Analysesysteme sowie Sauberkeitsverifizierungen für die EUV-Lithografie geeignet.
Retrofit
Geräte der Vorgängergeneration können auf den neuesten technologischen Stand des HiQuad Neo gebracht werden. Die Verwendung einiger vorhandener Komponenten, wie beispielsweise der Analysator, ist möglich. Dies reduziert Kosten und Abfall.
Bediensoftware
Mit Hilfe der PV MassSpec Software lässt sich das Massenspektrometer einfach bedienen. Sie bietet eine übersichtliche und benutzerfreundliche Plattform zur Aufnahme und Darstellung von Messdaten sowie von Parametersätzen. Mit dem integrierten Sequenzer können Anwender komplette Messabläufe einfach und automatisiert programmieren. Ein Klick genügt, um die Lecksuche und Vakuumdiagnose durchzuführen. Darüber hinaus ermöglicht die Software automatisiertes Kalibrieren und Tunen. Die Definition von Messrezepten ist einfach, eine Verknüpfung der massenspektrometrischen Daten mit externen Signalen möglich. Alternativ kann auch direkt über die Ethernet-Schnittstelle (via OPC-UA) kommuniziert werden. Diese Funktionalitäten bieten eine effiziente und benutzerfreundliche Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen.
